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硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（ ）
发布时间：2025-07-03 作者：形考任务 浏览：0次
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（ ）
A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；
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