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光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是( )

发布时间:2025-07-03   作者:国家开放大学   浏览:0

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是(  

A.电子束曝光技术
B.
离子束曝光技术
C.
X 射线曝光技术